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    電子探針顯微分析（EPMA）的基本原理與應(yīng)用
    來源：本站 時間：2020-08-24 17:48:47 瀏覽：13335次

    電子探針顯微分析（EPMA）的基本原理與應(yīng)用

    作者：安銘

    1 引言

    電子探針X射線顯微分析儀（Electron Probe X-ray Micro-Analyzer，簡寫為EPMA或者EMA）簡稱為電子探針。作為一種在電子光學(xué)和X射線光譜學(xué)原理的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的高效率分析儀器，其通過電子束作用于試樣微區(qū)上而產(chǎn)生的二次電子、背散射電子及X射線等信號，進(jìn)行固體物質(zhì)顯微分析，包括微區(qū)成分、形貌和結(jié)構(gòu)分析。不同于一般用于分析樣品較大范圍內(nèi)的平均化學(xué)組成的方法（如化學(xué)分析、X光熒光分析以及光譜分析），電子探針的微區(qū)成分分析能將微區(qū)化學(xué)成分和顯微組織對應(yīng)起來，因此是一種顯微組織的分析。

    2 電子探針的發(fā)展歷史

    電子探針顯微分析的發(fā)展是建立在X射線光譜分析和電子顯微鏡這兩種技術(shù)基礎(chǔ)上的，該儀器實(shí)質(zhì)上就是這兩種儀器的科學(xué)組合。

    根據(jù)相關(guān)記載，第一臺靜止型電子探針樣機(jī)于1949年在法國制成，其由電子顯微鏡和X射線光譜儀組合而成。

    1953年，前蘇聯(lián)制成了X射線微區(qū)分析儀，英、美等國繼此之后陸續(xù)生產(chǎn)。

    第一臺掃描電子探針儀商品于1960年由美國制成，不僅能對試樣作點(diǎn)或微區(qū)分析，而且能對樣品表面微區(qū)進(jìn)行掃描。

    1970年以后，電子探針和掃描電鏡逐漸組合為一體，同時應(yīng)用電子計(jì)算機(jī)控制分析過程和進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。

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    12條評論
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    全部 3小時前 四川
    文字是人類用符號記錄表達(dá)信息以傳之久遠(yuǎn)的方式和工具?，F(xiàn)代文字大多是記錄語言的工具。人類往往先有口頭的語言后產(chǎn)生書面文字，很多小語種，有語言但沒有文字。文字的不同體現(xiàn)了國家和民族的書面表達(dá)的方式和思維不同。文字使人類進(jìn)入有歷史記錄的文明社會。
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