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認識一下X射線熒光光譜儀(XRF)

來源：時間：2023-11-22 15:19:53 瀏覽：1544次

X射線熒光光譜儀

(X-ray Fluorescence Spectrometer，簡稱：XRF光譜儀)

一種快速的、非破壞式的物質(zhì)測量方法。

XRF是用高能量X射線或伽瑪射線轟擊材料時激發(fā)出的次級X射線。這種現(xiàn)象被廣泛用于元素分析和化學(xué)分析，特別是在金屬、玻璃、陶瓷和建材的調(diào)查和研究，地球化學(xué)，法醫(yī)學(xué)，考古學(xué)和藝術(shù)品，例如油畫和壁畫。

XRF結(jié)構(gòu)

根據(jù)X射線熒光的產(chǎn)生原理，一臺X射線熒光光譜儀在結(jié)構(gòu)上主要由激發(fā)源、色散系統(tǒng)、探測系統(tǒng)等三部分組成。

· X射線光管結(jié)構(gòu)

常規(guī)X射線光管主要采用端窗和側(cè)窗兩種設(shè)計。一般由真空玻璃管、陰極燈絲、陽極靶、鈹窗以及聚焦柵極組成，并利用高壓電纜與高壓發(fā)生器相接，同時高功率光管還需配有冷卻系統(tǒng)。

當(dāng)電流流經(jīng)X射線光管燈絲線圈時，引起陰極燈絲發(fā)熱發(fā)光，并向四周發(fā)射電子。一部分電子被加速，撞擊X射線光管陽極，大約99%的能量轉(zhuǎn)換成熱；另一部分撞擊電子，電子減速，動能損失，損失的動能將以光子發(fā)射的形式出現(xiàn)，從而產(chǎn)生連續(xù)X射線譜和靶線特征譜。X射線經(jīng)鈹窗出射后，照射樣品。

側(cè)窗X射線光管結(jié)構(gòu)示意圖

· 初級濾光片

當(dāng)需要分析痕量元素時，X射線光管產(chǎn)生的連續(xù)譜被輕基體強烈散射，在痕量元素的譜峰附近產(chǎn)生高背景，嚴重干擾測定。解決方法之一是在X射線光管和樣品之間的光路中插入一塊金屬濾光片，利用濾光片的吸收特性消除或降低X射線光管發(fā)射的原級X射線譜，尤其是消除靶材特征X射線譜和雜質(zhì)線對待測元素的干擾，提高分析靈敏度和準確度。

濾光片的幾何配置

· 面罩轉(zhuǎn)換器

在樣品和準直器之間裝上一個視野限制面罩，作用相當(dāng)于光欄，以消除由樣品杯(主成分、雜質(zhì)等)產(chǎn)生的X射線熒光和散射線，確保準直器只檢測來自樣品的熒光X射線。目前，可以根據(jù)分析樣品尺寸的大小和被測元素的含量選擇不同尺寸的面罩，被測元素含量較高可選擇尺寸小的面罩；被測元素含量較低，為了提高強度可以選擇較大尺寸的面罩。

面罩轉(zhuǎn)換器

· 準直器

由許多間距精密的平滑的薄金屬片疊積而成，分為初級準直器和次級準直器。初級準直器安裝在樣品和晶體之間，次級準直器安裝在探測器前面。初級準直器使樣品發(fā)射出的X射線熒光通過準直器變成平行光束照射到晶體上，經(jīng)晶體分光后再通過初級準直器準直后進入探測器，對光譜儀分辨率起著重要作用。

· 分光晶體

光譜儀的重要元件，應(yīng)用了X射線的衍射特性，將樣品發(fā)射的各元素的特征X射線熒光，按波長分開以便測量每條譜線。不同的晶體和同一晶體的不同晶面具有不同的色散率和分辨率。

分光晶體的種類

· 探測器

常用探測器有流氣正比計數(shù)器和閃爍計數(shù)器，前者用于輕元素檢測，后者用于重元素檢測。前者由金屬圓筒(陰極)、金屬絲(陽極)、窗口及探測氣體(惰性氣體)構(gòu)成。陽極都制成均勻光滑的細絲線，一般由鎢、鉬、鉑、金等穩(wěn)定的金屬絲制成。其一般選用Ne、Ar、Kr、Xe作為探測氣體，并加入一定量的有機氣體，如甲烷、乙烷、丙烷，防止正離子移向陰極時，從陰極上逐出電荷而引起二次放電——使之淬滅。后者由閃爍體、光導(dǎo)、光電倍增器和附屬電路組成，X射線光子通過鈹窗進入閃爍體，其部分能量使閃爍體發(fā)光，即將X射線光子的能量變成便于探測的光信號。

工作原理

X射線是一種波長較短的電磁輻射，通常是指能量范圍在0.1-100 keV的光子。X射線光管發(fā)出的初級X射線(一次射線)照射樣品，樣品中原子的內(nèi)層電子被激發(fā)，當(dāng)外層電子躍遷時產(chǎn)生特征X射線(二次X射線)，探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將控測系統(tǒng)所收集的信息轉(zhuǎn)換成樣品中的各種元素的種類及含量。XRF可測定元素周期表中從Be到U，即波長從0.01nm-2nm；不能分析H，He，Li，因為這些元素沒有足夠的電子；U以上的元素不夠穩(wěn)定。在實際應(yīng)用中XRF對輕元素?zé)晒猱a(chǎn)額很低，因此分析輕元素比較困難。

X-射線熒光光譜儀(XRF)是一種較新型可以對多元素進行快速同時測定的儀器。在X射線激發(fā)下，被測元素原子的內(nèi)層電子發(fā)生能級躍遷而發(fā)出次級X射線(即X-熒光)。X射線光管由陰極燈絲和陽極靶組成，燈絲通電流后會放出熱電子，在陰極燈絲和陽極靶之間加高電壓，電子在高壓作用下加速撞擊陽極靶。陽極靶由金屬組成，常用的材料有Rh、Mo、Cr、W等。

能量色散(ED-XRF)和波長色散(WD-XRF)是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個物理量。

· 能量色散熒光光譜儀

能量色散法是將X射線激發(fā)被測所有元素的熒光簡單過濾后，全部進入到檢測器中，利用儀器和軟件來分出其中的光譜。如測元素周期表中相鄰的兩個元素，會因光譜重疊而產(chǎn)生測量誤差。能量色散型儀器最大的優(yōu)點是不破壞被測的材料或產(chǎn)品，也不需要專業(yè)人員操作；缺點是對鉻和溴是總量測定(一般不影響使用，因為很多情況可以判定，如測鉻總量超標，?？芍遣皇橇鶅r鉻超標，特別是溴，如被作為阻燃劑加入，不管是那種溴，總量超標就不合格)。

ED-XRF通常使用固態(tài)探測器，例如硅漂移探測器(SSD)、SI-PIN探測器、SDD高純硅、高純鍺檢測器等。其采用脈沖高度分析器將不同能量的脈沖分開并測量，可分為具有高分辨率的光譜儀、分辨率較低的便攜式光譜儀和介于兩者之間的臺式光譜儀。

高分辨率光譜儀通常采用液氮冷卻的半導(dǎo)體探測器，如Si(Li)和高純鍺探測器等。低分辨便攜式光譜儀常采用正比計數(shù)器或閃爍計數(shù)器為探測器，它們不需要液氮冷卻。近年來，采用電致冷的半導(dǎo)體探測器，高分辨率光譜儀已不用液氮冷卻。同步輻射光激發(fā)X射線熒光光譜、質(zhì)子激發(fā)X射線熒光光譜、放射性同位素激發(fā)X射線熒光光譜、全反射X射線熒光光譜、微區(qū)X射線熒光光譜等較多采用的是能量色散方式。

· 波長色散熒光光譜儀

波長法是因其激發(fā)出的熒光足夠強，進到儀器中用來分析的光譜是單一元素(“過濾”了不需測的元素)，不含其它元素的光譜，所以測量數(shù)據(jù)很準確。這種儀器的靈敏度比能量色散型高一個數(shù)量級，也就是說，所測的數(shù)據(jù)并不存在“灰色地域”，不存在測定后還需拿到檢測機構(gòu)復(fù)檢。缺點是，波長法需將被測材料粉碎壓制成樣本后測才準確。所以，用在材料廠最適合。如不制成樣本(非破壞)，會因材料表面形狀不同而產(chǎn)生不同誤差。儀器操作也不需要專業(yè)人員。

WD-XRF的探測器包括流氣計數(shù)器(正比計數(shù)器)和閃爍計數(shù)器，流氣計數(shù)器用于探測輕元素的X射線熒光，閃爍計數(shù)器用于探測重元素的X射線熒光。其采用晶體或人工擬晶體根據(jù)Bragg定律將不同能量的譜線分開，然后進行測量，可分為順序式(或稱單道式或掃描式)、同時式(或稱多道式)譜儀、順序式與同時式相結(jié)合的三種類型。

順序式通過掃描方法逐個測量元素，因此測量速度通常比同時式慢，適用于科研及多用途的工作。同時式則適用于相對固定組成，對測量速度要求高和批量試樣分析。順序式與同時式相結(jié)合的光譜儀結(jié)合了兩者的優(yōu)點。