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    項目介紹

    電子探針顯微鏡(EPMA)又稱微區(qū)X射線光譜分析儀、X射線顯微分析儀。

    1. 顯微結(jié)構(gòu)的分析:電子探針是幾個微米范圍內(nèi)的微區(qū)分析,能將微區(qū)化學(xué)成份與顯微結(jié)構(gòu)對應(yīng)起來,是一種顯微結(jié)構(gòu)的分析;

    2. 元素分析范圍廣:能分析硼(B)~鈾(U)(原子序數(shù):5~92)范圍內(nèi)的元素;

    3.  定量分析準(zhǔn)確度高:電子探針的檢測極限(能檢測到的元素最低濃度)一般為0.01~0.05 wt%,能做輕元素、“痕量元素”以及重疊峰存在時的分析;

    4. 分析速度快,不損壞樣品:新型電子探針在0.5 h左右完成樣品的分析,且分析完成后可以完好保存樣品;

    5.  應(yīng)用范圍廣:廣泛用于冶金、地質(zhì)、生物和考古等領(lǐng)域。

    樣品要求

    1. 樣品尺寸:應(yīng)為塊狀或顆粒狀,其最大尺寸要根據(jù)不同儀器的樣品架大小而定,定量分析的樣品要均質(zhì),厚度通常應(yīng)大于5 μm;

    2. 具有較好的電導(dǎo)和熱導(dǎo)性能:金屬材料一般具有較好的導(dǎo)熱/導(dǎo)電性能,而硅酸鹽材料和其他非金屬材料一般導(dǎo)熱/導(dǎo)電性都較差,通常在這類材料表面均勻噴鍍一層20~400 ?的碳膜或鋁膜來增加樣品表面的導(dǎo)熱/導(dǎo)電性;

    3. 樣品表面光滑平整:樣品表面必須拋光,保證其清潔平整,若樣品表面凸凹不平則可能使射出的X射線受到不規(guī)則的吸收。

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    常見問題

    EPMA中成分分析屬于能譜分析還是波譜分析?

    EPMA成分分析使用的是波長色散譜儀(WDS),即屬于波譜分析。

    SEM和EPMA的主要區(qū)別是?

    SEM側(cè)重于形貌成像,EPMA更傾向于微區(qū)成分分析。

    EPMA分析的優(yōu)勢?

    (1)能進(jìn)行微區(qū)分析??煞治鰯?shù)個μm3內(nèi)元素的成分;

    (2)能進(jìn)行現(xiàn)場分析。無需把分析對象從樣品中取出,可直接對大塊試樣中的微小區(qū)域進(jìn)行分析。把電子顯微鏡和電子探針結(jié)合,可把在顯微鏡下觀察到的顯微組織和元素成分聯(lián)系起來;

    (3)分析范圍廣。Z>4中,波譜:Be-U,能譜:Na-U。

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